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沈天慧简介

淘名人 2024-02-22 10:51 热度:

沈天慧

沈天慧(1923年4月27日一2011年1月2日),浙江嘉善人,分析化学、半导体化学家,中国科学院院士,生前是上海交通大学微纳科学技术研究院研究员。沈天慧1949年毕业于上海大同大学化工系;1957年一1959年留学苏联进修半导体材料;1966年一1986年任航天工业部七七一研究所第七研究室主任;1980年当选为中国科学院学部委员(院士);1987年一2009年任上海交通大学教授;2011年1月2日在上海逝世,享年88岁。沈天慧主要微机电系统研究,稀土铁矿以及钼矿分析,超纯硅制备,半导体材料及航天用大规模集成电路研制,磁头磁盘及电磁型微马达的研究工作。

基本资料

中文名:沈天慧

国籍:中国

出生地:浙江嘉善

出生日期:1923年4月27日

逝世日期:2011年1月2日

毕业院校:上海大同大学

职业:教育科研工作者

主要成就:1980年当选为中国科学院学部委员(院士)

人物生平

1923年4月27日,沈天慧出生于浙江嘉善。

1945年,进入上海大同大学化工系就读。

1949年,从上海大同大学化工系毕业,后考取中央研究院(现中国科学院)上海化学研究所的研究生。

1954年,被选派到中科院沈阳金属研究所工作。

1957年,被派往苏联莫斯科冶金研究所进修半导体硅和化合物半导体的研制。

1959年,沈天慧回中国后,在中国科学院长春应用化学研究所工作。

1966年,调到中科院156工程处(北京)。

1970年,迁至陕西临潼县航天工业部771研究所。

1980年,当选为中国科学院学部委员(院士)。

1987年,调入上海交通大学信息存储研究中心,从事磁头磁盘的研制工作。

2011年1月2日,在上海逝世,享年88岁。

主要成就

沈天慧科研成就

科研综述

沈天慧参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966年—1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺,研制出大规模集成电路数种。1987年后,从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作,研制出直径为2mm的微马达。

学术论著

沈天慧最早论文发表是1988年在微电子学与计算机(期刊)上的VLSI工艺技术——五、超微细加工一文。截至2004年在微电子学与计算机、微细加工技术、上海交通大学学报等期刊上共发文14篇,其部分论著如下:

[1]沈天慧.化学在集成电路中的作用[J].化学通报,1984(10):3-4.

[2]汪师俊,蔡琪玉,沈天慧.光化学气相淀积氮化硅的工艺及其应用研究——(Ⅰ)光化学气相淀积氧化硅的工艺研究[J].微电子学与计算机,1993(02):46-48.

[3]汪师俊,蔡琪玉,沈

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社会任职


上海交通大学学术委员会委员


上海交通大学材料与化工研究院顾问


微纳米加工技术重点实验室学术委员会主任


航天部科技委员会委员

1979年

宇航学会第一届理事

参考资料

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个人生活

家庭背景

沈天慧父亲沈质人是医生。沈天慧兄妺四人,她排行最后。母亲略懂医道,靠行医支撑全家的生活。

婚姻家庭

沈天慧和爱人汪师俊是大学同学,两人育有两个孩子。

人物评价

“沈天慧院士以一生的行动,实践着自己对党、对祖国、对人民诚挚的爱,她的高尚品德值得学习。”(上海交通大学原党委书记马德秀评)

“她(沈天慧)对于名利以及物质生活一向淡泊无求,不喜欢麻烦别人,正是一位女科学家对待人生、亊业的态度。”(嘉善文史通讯员管玲缇评)