沈天慧简介
基本资料
中文名：沈天慧
国籍：中国
出生地：浙江嘉善
出生日期：1923年4月27日
逝世日期：2011年1月2日
毕业院校：上海大同大学
职业：教育科研工作者
主要成就：1980年当选为中国科学院学部委员（院士）
人物生平
1923年4月27日，沈天慧出生于浙江嘉善。
1945年，进入上海大同大学化工系就读。
1949年，从上海大同大学化工系毕业，后考取中央研究院（现中国科学院）上海化学研究所的研究生。
1954年，被选派到中科院沈阳金属研究所工作。
1957年，被派往苏联莫斯科冶金研究所进修半导体硅和化合物半导体的研制。
1959年，沈天慧回中国后，在中国科学院长春应用化学研究所工作。
1966年，调到中科院156工程处（北京）。
1970年，迁至陕西临潼县航天工业部771研究所。
1980年，当选为中国科学院学部委员（院士）。
1987年，调入上海交通大学信息存储研究中心，从事磁头磁盘的研制工作。
2011年1月2日，在上海逝世，享年88岁。
主要成就
沈天慧科研成就
科研综述
沈天慧参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966年—1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺，研制出大规模集成电路数种。1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，研制出直径为2mm的微马达。
学术论著
沈天慧最早论文发表是1988年在微电子学与计算机（期刊）上的VLSI工艺技术——五、超微细加工一文。截至2004年在微电子学与计算机、微细加工技术、上海交通大学学报等期刊上共发文14篇，其部分论著如下：
[1]沈天慧.化学在集成电路中的作用[J].化学通报,1984（10）:3-4.
[2]汪师俊,蔡琪玉,沈天慧.光化学气相淀积氮化硅的工艺及其应用研究——（Ⅰ）光化学气相淀积氧化硅的工艺研究[J].微电子学与计算机,1993（02）:46-48.
[3]汪师俊,蔡琪玉,沈
个人生活
家庭背景
沈天慧父亲沈质人是医生。沈天慧兄妺四人，她排行最后。母亲略懂医道，靠行医支撑全家的生活。
婚姻家庭
沈天慧和爱人汪师俊是大学同学，两人育有两个孩子。
人物评价
“沈天慧院士以一生的行动，实践着自己对党、对祖国、对人民诚挚的爱，她的高尚品德值得学习。”（上海交通大学原党委书记马德秀评）
“她（沈天慧）对于名利以及物质生活一向淡泊无求，不喜欢麻烦别人，正是一位女科学家对待人生、亊业的态度。”（嘉善文史通讯员管玲缇评）