沈天慧简介
基本资料
中文名:沈天慧
国籍:中国
出生地:浙江嘉善
出生日期:1923年4月27日
逝世日期:2011年1月2日
毕业院校:上海大同大学
职业:教育科研工作者
主要成就:1980年当选为中国科学院学部委员(院士)
人物生平
1923年4月27日,沈天慧出生于浙江嘉善。
1945年,进入上海大同大学化工系就读。
1949年,从上海大同大学化工系毕业,后考取中央研究院(现中国科学院)上海化学研究所的研究生。
1954年,被选派到中科院沈阳金属研究所工作。
1957年,被派往苏联莫斯科冶金研究所进修半导体硅和化合物半导体的研制。
1959年,沈天慧回中国后,在中国科学院长春应用化学研究所工作。
1966年,调到中科院156工程处(北京)。
1970年,迁至陕西临潼县航天工业部771研究所。
1980年,当选为中国科学院学部委员(院士)。
1987年,调入上海交通大学信息存储研究中心,从事磁头磁盘的研制工作。
2011年1月2日,在上海逝世,享年88岁。
主要成就
沈天慧科研成就
科研综述
沈天慧参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966年—1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺,研制出大规模集成电路数种。1987年后,从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作,研制出直径为2mm的微马达。
学术论著
沈天慧最早论文发表是1988年在微电子学与计算机(期刊)上的VLSI工艺技术——五、超微细加工一文。截至2004年在微电子学与计算机、微细加工技术、上海交通大学学报等期刊上共发文14篇,其部分论著如下:
[1]沈天慧.化学在集成电路中的作用[J].化学通报,1984(10):3-4.
[2]汪师俊,蔡琪玉,沈天慧.光化学气相淀积氮化硅的工艺及其应用研究——(Ⅰ)光化学气相淀积氧化硅的工艺研究[J].微电子学与计算机,1993(02):46-48.
[3]汪师俊,蔡琪玉,沈
个人生活
家庭背景
沈天慧父亲沈质人是医生。沈天慧兄妺四人,她排行最后。母亲略懂医道,靠行医支撑全家的生活。
婚姻家庭
沈天慧和爱人汪师俊是大学同学,两人育有两个孩子。
人物评价
“沈天慧院士以一生的行动,实践着自己对党、对祖国、对人民诚挚的爱,她的高尚品德值得学习。”(上海交通大学原党委书记马德秀评)
“她(沈天慧)对于名利以及物质生活一向淡泊无求,不喜欢麻烦别人,正是一位女科学家对待人生、亊业的态度。”(嘉善文史通讯员管玲缇评)